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- 石化業使用之物質多為具有揮發性之有機物質，且製程中管件、設備元件為數眾多，因此發生溢散排放的機率很高，不但造成原料物料漏失也會引發其他環境問題，FTIR可進行大範圍之篩檢，指出可能發生洩漏的區域，提供維護指引。
- 對於石化工業區，可利用FTIR全天候即時監測能力，建置監測防火牆，除提供鄰近區域空氣品質現況外，並可作為緊急事故應變訊息的資訊來源。
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- Extractive FTIR所佔空間較小，適用於廠內機台PM量測或排放管道內氣體污染物量測，而Extractive FTIR可同時瞬時偵測多種特殊氣體的能力，將有助於工程師瞭解製程反應機制所產生污染物之種類及濃度，以提供在選擇廢氣處理設備時之考量依據。
- OP-FTIR則適用於半導體廠潔淨室內環境空氣異常之監控，評估製程區內污染物流佈特性，以維護工作人員安全。
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- 目前對於環境中之物質成分分析多採用GC/MS做為工具，其缺點為非直讀式設備無法提供即時訊息，採樣分析成本高，須具備相當規模之分析設備及人員。FTIR則可彌補上述缺點，提供另一種分析技術的選擇。
- 國內環保署已將遙測技術列為石化業逸散污染物之篩選方法。
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- 在正常作業時工人暴露濃度絕大多數低於容許濃度標準，只有在異常狀況或預防保養時，才可能使暴露濃度超過容許濃度標準，以FTIR進行監測可同時提供瞬間濃度以及平均濃度，協助廠方有效監測毒性氣體外洩、瞬間高濃度暴露進而即時處理降低危害。
- 利用FTIR非接觸性分析、可以鑑別未知物以及即時分析之特性，適用於緊急事故之訊息獲取。
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